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IAGD5-日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)原裝*
  • IAGD5-日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)原裝*
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更新時(shí)間:2025-04-15 21:00:08

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日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)原裝*-IAGD5集成化供氣系統(tǒng)
省空間且提高了維護(hù)性的工藝氣體供給系統(tǒng)。
從設(shè)計(jì)到制作均可根據(jù)客戶需要的流程進(jìn)行。
1.125inch、采用W密封。
行業(yè):半導(dǎo)體制造工序(前工序) 化學(xué)氣體供給設(shè)備用元件

日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)原裝*-IAGD5集成化供氣系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

【集成單元】
通過緊湊集成標(biāo)準(zhǔn)化部件,構(gòu)建工藝氣體供氣線。
實(shí)現(xiàn)了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設(shè)計(jì)到裝配、檢查完成后交付,可減少客戶的工時(shí)。

日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)原裝*-IAGD5集成化供氣系統(tǒng)衍生系列:

IAGD5集成化供氣系統(tǒng)元件規(guī)格:

項(xiàng) 目: MMGD5-R MMGD5-1  
使用流體:  惰性氣體·工藝氣體  
使用壓力 Pa(abs)-MPa(G):   1.3×10-6~0.99  
流體溫度 ℃: 5~80 
環(huán)境溫度 ℃ :  5~80  
閥座泄漏 Pa m3/s(He):  1.0×10-10
外部泄漏 Pa m3/s(He):  2.8×10-12  
 Cv值:  0.26  
配管方式 : 1.125英寸、W密封(公稱6.35)  
閥體材質(zhì):  SUS316L
膜片材質(zhì):  Ni-Co合金  
閥座材質(zhì):  PCTFE

 

項(xiàng) 目: MFGD5-11D-W-1 MFGD5-11D-W-4
使用流體:惰性氣體·工藝氣體
使用壓力 Pa(abs)-MPa(G):1.3×10-6~0.7
流體溫度 ℃:-10~80
環(huán)境溫度 ℃:-10~80
閥座泄漏:大Cv值的1/100以下
外部泄漏 Pa?m3/s(He):2.8×10-12
Cv值(調(diào)整范圍):0.003-0.03   0.02-0.2
配管方式:1.125英寸、W密封(公稱6.35)
閥體材質(zhì):SUS316L
膜片材質(zhì):Ni-Co合金

 

 

上海伊里德代理供應(yīng)喜開理CKD電控?fù)Q向閥、喜開理CKD傳感器、喜開理CKD電機(jī)等產(chǎn)品,價(jià)格實(shí)惠,部分常規(guī)型號(hào)有現(xiàn)貨。如需采購可咨詢。我將竭誠為您服務(wù)。請您詢價(jià)采購時(shí)請備注貴公司營業(yè)執(zhí)照抬頭、連系方式;您需要的品牌型號(hào)數(shù)量發(fā)給我們。我們將按順序*時(shí)間給您回復(fù)報(bào)價(jià)。

產(chǎn)品具體詳見:IAGD5集成化供氣系統(tǒng)元件

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