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大理石平臺主要用于平面度檢測，大理石熱膨脹小，高精度的平臺往往用大理石的，比如三坐標的導軌。高精度光刻，就用高精度000級大理石平臺，一些芯片設備，也是安裝在這類大理石平臺上的，產品的檢測，也在這種大理石平臺檢測，包括高級別的光學檢測。凡是與晶片有關的設備都是高的嚇人，一臺辦公桌大小的大理石平臺價格可以上億元，當然精度也是高的嚇人了。

高精度000級大理石平臺是手磨的，人依然是gao精度，不是說人有多神奇，是人可以一點一點地研磨，邊研磨邊測量，而機器是沒有這種靈活性的，你到這種大平板廠子去看一下，終的精度是人工玩出來的，低精度是機器玩的。