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應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,航空航天,汽車(chē)及零部件,電氣

ES640充電器件模型（CDM）測(cè)試系統(tǒng)介紹：

1.描述

充電器件模型（CDM）靜電放電是微電子電路故障的常見(jiàn)原因。較低電壓下的CDM放電會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞或損毀靈敏設(shè)備。當(dāng)帶靜電的設(shè)備以不同的電位接觸金屬表面時(shí)，通常會(huì)發(fā)生這種情況。這種靜電放電通常具有非?？斓纳仙龝r(shí)間。

ES640是一款自動(dòng)化的CDM測(cè)試儀，可滿(mǎn)足所有流行的CDM測(cè)試方法，支持場(chǎng)感應(yīng)空氣放電方法（FICDM）和接觸放電（LI-CCDM、CC-TLP、RP-CCDM）方法。本測(cè)試系統(tǒng)包含計(jì)算機(jī)、環(huán)境控制室、精確的XYZ運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、不同類(lèi)型的CDM測(cè)試儀頭以及自動(dòng)測(cè)試和數(shù)據(jù)分析軟件。

以下是ESDEMC ES640 CDM解決方案與其他解決方案的比較，包括Thermo Scientific Orion3 CDM測(cè)試儀、Hanwa HED-C5000R等。

2.特點(diǎn)

高分辨率攝像頭（可多達(dá)3個(gè)）可輕松進(jìn)行引腳對(duì)齊操作

高分辨率運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)（步長(zhǎng)低至1µm）

允許批量測(cè)試多個(gè)設(shè)備

正在申請(qǐng)的CCDM方法具有更好的可重復(fù)性

密閉的環(huán)境室提高了干燥單元的效率

支持再生干燥單元（無(wú)需氮?dú)猓?/p>

3.應(yīng)用

用于封裝和晶圓級(jí)測(cè)試的通用CDM系統(tǒng)

支持許多流行的最新CDM方法：

ANSI/ESDA/JEDEC JS-002(FICDM)

AEC Q100-011 Rev-D (遵循JS-002)

AEC Q101-005 Rev-A (遵循 JS-002)

ANSI/ESD SP5.3.3 (LI-CCDM，需要vf-TLP)

CC-TLP (待批準(zhǔn)的ESDA SP，需要vf-TLP)

我司申請(qǐng)中的RP-CCDM方法

可根據(jù)客戶(hù)要求提供已停用或定制的解決方案

機(jī)器人帶電板模型(CBM）和平板ESD測(cè)試可自定義尺寸

4.規(guī)格

參數(shù)	ES640-150	ES640-300	單位	備注
最大XY測(cè)試面積	≥150X150	≥300X300	mm	探針移動(dòng)面積，可定制
最大DUT面積	160X160	375X425	mm
充電板面積	210X210	395X470	mm
Z行程	≥50	≥150	mm
最小X, Y, Z步長(zhǎng)	100		nm
復(fù)位重復(fù)能力	≤±6		μm
測(cè)試電壓范圍	±1至2000或4000		V	默認(rèn)2000V，可定制
測(cè)試電壓階躍	1		V
測(cè)試電壓精度	±1%±0.1V		%V
XY視野分辨率	1920X1080		像素
垂直視野分辨率	2592X1944		像素
運(yùn)行溫度	10至40		°C
運(yùn)行濕度(RH)	10至80		%
電壓	120-240VAC，50/60Hz		VAC
N2或CDA壓強(qiáng)	10–120		PSI
N2或CDA峰值用量	0.2		cfm	或0.34m3h
300 N2箱平均用量	~19		小時(shí)	持續(xù)的@40RH環(huán)境
干燥劑平均用量	~24		小時(shí)	持續(xù)的@40RH環(huán)境

5.訂購(gòu)信息

編號(hào)	型號(hào)	描述
ES640帶電器件模型（CDM）測(cè)試系統(tǒng)
1.1	ES640-150	通用CDM平臺(tái)，150X150mm測(cè)試區(qū)域，2kV
1.2	ES640-300	通用CDM平臺(tái)，300X300mm測(cè)試區(qū)域，2kV
1.3	ES640-HC	用于空氣放電方法的濕度調(diào)節(jié)單元 (用戶(hù)可重復(fù)使用干燥劑，比N2或CDA的使用成本更低)
1.4	ES640-CV4	放電電壓從2kV提升到4kV
1.5	ES640-CPC	場(chǎng)板定制，用于固定200X300DUT
1.6	ES640-VP1	用于固定DUT的真空泵 (可選，軟件控制)
1.7	ES640-VP2	高壓尖部清潔單元(可選，軟件控制)
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)配置( 包括AEC_Q100-011D，AEC_Q101-005A在內(nèi)均遵循此標(biāo)準(zhǔn))
2.1	ES640-JS002	JS002放電單元
2.2	ES640-JS002-C	JS002/C101校準(zhǔn)盤(pán)(小盤(pán)和大盤(pán))
2.3	ES640-JS002-P1	JS002可替代Pogo Pin #1 (直徑0.35mm)
已停用的AEC標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)配置(不推薦用于新設(shè)計(jì))ES640充電器件模型（CDM）測(cè)試系統(tǒng)