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工具測(cè)量顯微鏡又稱工具制造用顯微鏡，是一種工具制造時(shí)所用高精度的二次元坐標(biāo)測(cè)量?jī)x。它是利用光學(xué)原理將工件成像經(jīng)物鏡投射至目鏡即借著光線將工件放大成虛像，再利用裝物臺(tái)與目鏡網(wǎng)線 (eyepiece reticle) 等輔助，以作為尺寸、角度和形狀等測(cè)量工作，可作為檢驗(yàn)非金屬光澤的工件表面。此種儀器在立柱上裝有一顯微鏡，放大倍率從10倍至100倍間等數(shù)種倍率，工具顯微鏡的測(cè)量系統(tǒng)光源 ( 燈炮 ) 通電后，光線依次經(jīng)過二個(gè)透鏡濾熱鏡 ( 片 )、鏡徑薄膜、透鏡、反射鏡、裝物臺(tái)、物鏡、反射鏡、目鏡等，工件與物鏡間的距離，隨著放大倍率和工件厚薄，可利用對(duì)焦旋鈕調(diào)至理想位置。

工具測(cè)量顯微鏡測(cè)量用途

測(cè)量各種金屬加工件、沖壓件、塑料件的直徑、長度、角度、孔的位置等； 測(cè)量各種成型零件如樣板、樣板車刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀；

測(cè)量各種刀具、模具、量具的幾何參數(shù)；

測(cè)量螺紋塞規(guī)，絲杠和蝸桿等外螺紋的中徑、大徑、小徑、螺距、牙型半角；

測(cè)量齒輪滾刀的導(dǎo)程、齒形和牙型角；

測(cè)量印刷電路板上的線長寬度、距離和元件焊裝孔的尺寸和位置；

測(cè)量各種零件的二維形位公差。

技術(shù)參數(shù)：

工作臺(tái)

　　測(cè)量行程（mm）

　　X坐標(biāo)：200 Y坐標(biāo)：100 X、Y坐標(biāo)測(cè)量分辨率：0.0002mm X、Y坐標(biāo)準(zhǔn)確度：(1+L/100)μm， 式中L為被測(cè)長度，單位為mm

　　方工作臺(tái)尺寸（mm）：260×270 方工作臺(tái)承放工件大高度（mm）：140

　　顯微鏡立柱

　　角度傾斜范圍：±12° 角度傾斜分度值：30′