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LIP 372，LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺
? 測量步距達0.001 µm（1 nm）
? 測量基準用螺栓固定
產品分類品牌分類
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IFM變送器 IFM斷路器 IFM解調器 IFM攝像機 IFM控制器 IFM電纜 IFM壓力變送器 IFM超聲波流量傳感器 IFM壓縮空氣流量計 IFM振動變送器 IFM加速計 IFM振動傳感器 IFM標簽 IFM閱讀器 IFM讀寫頭 IFM主機 IFM網關 IFM旋入式傳感器 IFM液位傳感器 IFM控制面板 IFM流量計 IFM流量變送器 IFM超聲波流量計 IFM渦街流量計 IFM電磁流量計 IFM壓力計 IFM壓力傳感器 IFM控制閥 IFM安全光柵 IFM安全光幕 IFM3D攝像機 IFM傳感器 IFM3D傳感器 IFM開關 IFM模塊 IFM分配器 IFM延伸器 IFM轉換器 IFM繼電器 IFM顯示器 IFM速度監控器 IFM編碼器 IFM放大器 IFM觸摸式傳感器 IFM對比傳感器 IFM彩色傳感器 IFM光纖放大器 IFM激光傳感器 IFM光電式傳感器 IFM溫度傳感器 IFM氣缸傳感器 IFM速度傳感器 IFM磁性傳感器 IFM電容式傳感器 IFM電感式傳感器 IFM位置傳感器 IFM傾角傳感器
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賀德克HYDAC液壓閥 賀德克HYDAC蓄能器 賀德克HYDAC流量變送器 賀德克HYDAC壓力表開關 賀德克HYDAC過濾裝置 賀德克HYDAC熱交換器 賀德克HYDAC距離傳感器 賀德克HYDAC壓力閥 賀德克HYDAC冷卻器 賀德克HYDAC電磁閥 賀德克HYDAC繼電器 賀德克HYDAC換向閥 賀德克HYDAC壓力傳感器 賀德克HYDAC同軸閥 賀德克HYDAC截止閥 賀德克HYDAC球閥 賀德克HYDAC油況傳感器 賀德克HYDAC污染傳感器 賀德克HYDAC轉速傳感器 賀德克HYDAC位置傳感器 賀德克HYDAC位置開關 賀德克HYDAC液位傳感器 賀德克HYDAC液位開關 賀德克HYDAC流量開關 賀德克HYDAC流量傳感器 賀德克HYDAC溫度開關 賀德克HYDAC溫度傳感器 賀德克HYDAC壓力開關 賀德克HYDAC測量儀 賀德克HYDAC壓力變送器 賀德克HYDAC葉片泵 賀德克HYDAC濾筒 賀德克HYDAC比例閥 賀德克HYDAC止回閥 賀德克HYDAC節流閥 賀德克HYDAC限壓閥 賀德克HYDAC方向閥 賀德克HYDAC阻尼器 賀德克HYDAC活塞式蓄能器 賀德克HYDAC監控系統 賀德克HYDAC過濾器 賀德克HYDAC濾清器 賀德克HYDAC濾芯
產品簡介
詳細介紹
直線光柵尺測量直線軸位置，測量期間沒 有任何其它機械傳動件。因此，它能消除 以下潛在誤差源： • 滾珠絲杠溫度特性導致的定位誤差
• 反向誤差 • 滾珠絲杠螺距誤差導致的運動特性誤差 因此，直線光柵尺是高精度定位和高速加 工機床*的基礎技術手段。 敞開式直線光柵尺設計用于超高測量精度 的機器和系統。
典型應用包括：
• 半導體工業的測量和生產設備
• PCB電路板組裝機
• 超精密機床，例如加工光學器件的金剛 石刀具，加工磁盤的端面車床和加工鐵 氧體元件的磨床
• 高精度機床
• 測量機和比較儀、測量顯微鏡和其它精 密測量設備
• 直驅電機 機械結構 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺 帶和讀數頭，光柵尺和讀數頭間無機械接 觸。 敞開式直線光柵尺的光柵尺帶固定在安裝 面上。因此，安裝面的平面度是高精度直 線光柵尺應用的基礎條件。
測量原理 測量基準
海德漢公司的光學掃描光柵尺或編碼器的 測量基準都是周期刻線－光柵。 這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長 度測量用的光柵尺帶的基體為鋼帶。 海德漢公司用以下特別開發的光刻工藝 制造精密光柵。
• AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條， 典型柵距40 µm • METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線， 典型柵距20 µm
• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵 距20 µm）或玻璃基體的三維鉻線格柵 （典型柵距8 µm）
• SUPRADUR相位光柵：光學三維平面格 柵線條；*抗污能力；典型柵距不超 過8 µm
• OPTODUR相位光柵：光學三維平面格柵 線條，超高反光性能，典型柵距不超過 2 µm 這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵 外，而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均 勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰 的刻線是輸出高質量信號的關鍵。 母版光柵采用海德漢公司定制的精密 刻線機制造。
heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm
LIP 372，LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺
• 測量步距達0.001 µm（1 nm）
• 測量基準用螺栓固定
如有需要詳情，請見：heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm