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偏光應(yīng)力儀大量應(yīng)用于玻璃、塑料等透明材質(zhì)的內(nèi)部應(yīng)力檢測。長期以來該儀器的校準一直難以實施，本文介紹了基于光強法的光學(xué)相位延遲的量值復(fù)現(xiàn)原理及相應(yīng)的測量裝置，闡述了光學(xué)相位延遲量值的傳遞過程和相關(guān)問題。
玻璃等透明材料存在的內(nèi)部應(yīng)力是這些材料的極為重要的物理指標。該應(yīng)力的存在不僅導(dǎo)致材料表面會隨時間而慢慢變形，嚴重影響成像質(zhì)量，而且應(yīng)力分布不均勻嚴重時還會引起自爆。近期發(fā)生的玻璃幕墻自爆事件，以及啤酒瓶的安全事件就是其典型事例。因此，對該類材料內(nèi)部應(yīng)力的準確測量顯得尤為重要。
其測量原理基于應(yīng)力雙折射檢測，即：玻璃是各向同性體，各方向的折射率相同。如果玻璃中存在應(yīng)力，各向同性的性質(zhì)會受到破壞，引起折射率的變化，兩個主應(yīng)力方向的折射率不再相同，會出現(xiàn)雙折射現(xiàn)象。雙折射導(dǎo)致材料產(chǎn)生光學(xué)相位延遲，其相位延遲值與應(yīng)力值的關(guān)系由下式確定：

δ=CΔσ

式中：δ為相位延遲；

Δσ為x及y方向的應(yīng)力差；

C為應(yīng)力光學(xué)常數(shù)，它是物性常數(shù)，僅與玻璃品種有關(guān)。

只要能測量出相位延遲值，就可以知道材料的內(nèi)部應(yīng)力。并且，絕大多數(shù)儀器給出的量值就是相位延遲值。

雖然該項測試與人們的安全息息相關(guān)，但由于相關(guān)的校準技術(shù)規(guī)范及檢定規(guī)程至今尚未建立，相關(guān)的量傳體系也沒有完善，因此，偏光應(yīng)力儀的校準一直存在問題。

二、相位延遲值校準
1、相位延遲值的校準
目前測量理論上，測量材料相位延遲值的方法很多，如光強法、相位延遲橢偏測量法、光譜掃描測量法、偏振調(diào)制法、光學(xué)差拍法、補償法、半陰法、光強法和諧振腔法等。

上真正用于計量校準的方法為光強法，由美國NIST建立[8J，并提供對外服務(wù)。我們目前已經(jīng)初步建成了相位延遲校準裝置，并開始對外提供校準服務(wù)。其裝置原理圖如圖1所示：

圖1中P，A為偏振片，S為待測樣品；E1，E2為編碼器驅(qū)動器；Q1，Q2為驅(qū)動器；A1，A2為高精度電流表。
延遲量校準裝置包括：光源部分、測量光路、探測器部分、轉(zhuǎn)角控制機構(gòu)(分辨率為0．01o)、采樣控制機構(gòu)和各部分的供電電源，以及各種輔助性能檢測部分(光源穩(wěn)定性監(jiān)測機構(gòu))等。
安裝在光學(xué)平臺上的多波長激光器發(fā)出的激光作為光源同時兼為光路調(diào)整的基準。利用它可以準確定位各個器件在光路中的偏轉(zhuǎn)角度、反射鏡的方向、樣品定位的準確性及其表面是否垂直于光路等。

該裝置相位延遲量測量擴展不確定度為U=0.16。(k=2)。考慮到大多數(shù)儀器測量精度不足為1^o , 能夠滿足需求。部分儀器用nm為單位表示，其轉(zhuǎn)換關(guān)系為：

δ（nm）=δ(^o)

2、相位延遲的校準
儀器的校準一般依據(jù)已經(jīng)具有標準值的標準片進行校準。目前市場上可用于校準的標準片大致有兩種：一是利用云母、石英和方解石等制成，其特點是成本高、精度高。另一種為在一定基材上，施加壓力使之產(chǎn)生相位差，成本低但精度差。從面的均勻性和年穩(wěn)定性角度說，*種類材料的量值要遠好于第二種材料；從應(yīng)用上講，*類材料制成的標準片基本可以滿足要求。

利用該類標準片進行校準過程，請參看圖2。

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