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淺述小型甩帶機的開關機操作
閱讀：936 發布時間：2019-5-16
一、小型甩帶機的開機
1.開總電源：將對面墻壁上左邊的電源閘刀向上撥至“on”；
2.開冷卻水：將設備后水管總開關扭至與水管平行，并將兩個水閥逆時針旋轉45°；
3.開機械泵：按下機械泵開機電源按鈕，等待2分鐘，待系統內空氣抽凈；
4.開擴散泵：按下擴散泵開機電源按鈕，等待50分鐘，待擴散泵預熱*；
5.開銅輥電機：按下電機“調速”電源按鈕，并按變頻器上的“run”一次，運行變頻器；
注意：預熱時務必確保機械泵和擴散泵閥門處于關閉狀態。
6.小型甩帶機開腔門：將腔體右側的氬氣充氣閥順時針旋轉90°，給腔體充氬氣使氣壓表指針指向“0”并關上閥門，然后利用扳手松開螺絲并將腔門打開。
二、小型甩帶機的關機
1.清理內腔：
①順時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為5m/s；
②用沾有丙酮的紙巾擦拭銅輥外徑表面；
③用金相砂紙輕輕擦拭外沿；
④重復第②步；
⑤逆時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為“0”；
⑥用沾有丙酮的紙巾擦拭腔體其他地方。
2.關腔門：關上腔門，并用扳手緊固螺絲；
3.按變頻器“stop”使變頻器關；
4.按起“調速”電源按鈕；
5.按起擴散泵電源按鈕；
6.拉出機械泵拉桿抽低真空至氣壓表指示為“-0.1”后在推入拉桿；
7.等待一小時后關閉機械泵電源按鈕；
8.關閉冷卻水閥；
9.將總電源閘刀拉下至“off”。