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冷熱場發射電鏡有哪些區別?

閱讀:5274        發布時間:2021-8-31
場發射電鏡是電子顯微鏡的一種。廣泛用于生物學、醫學、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質礦物、商品檢驗、產品生產質量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析。可以觀察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。
 
場發射分熱場和冷場,共性是分辨率高。熱場的束流大些,適合進行分析,但維護成本相對較高,維護要求高。冷場做表面形貌觀測是適合的,相對而言維護成本低些,維護要求不算高。
 
冷熱場發射電鏡有哪些區別?
 
1、適用范圍不同。
 
冷場發射掃描電鏡是一種用于材料科學、化學領域的分析儀器,而熱場發射掃描電鏡是一種用于物理學、材料科學、能源科學技術領域的分析儀器。熱場發射掃描電鏡使用范圍更廣。
 
2、技術指標不同。
 
冷場發射掃描電鏡:
 
辨率:1.0nm (15kV),2.0nm (1kV),1.4nm(1KV)入射電子減速功能。放大倍率:×20 ~ ×800,000。加速電壓:0.5 ~ 30kV。X射線能譜儀分辨率/有效面積:不低于133eV,10mm2。
 
熱場發射掃描電鏡:
 
放大倍數:35—90萬倍。分辨率:工作電壓15kV時分辨率為1.0nm。加速電壓:0.2Kv—30Kv。能譜:探測元素范圍B5-U92。能量分辨率:136eV。
 
3、主要功能不同。
 
冷場發射掃描電鏡是超顯微、形貌與成分分析相結合。而熱場發射掃描電鏡是物理學,材料科學,能源科學技術。

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