其測量煙氣含水量的方法主要有干濕氧測定法、濕度傳感器測定法、激光光譜法、紅外光度法等。干濕氧測定法是通過氧傳感器測定濕煙氣及干煙氣的含氧量并計算出煙氣中水分含量，該法在美國等國外CEMS的應用很普遍。采用濕度傳感器測定法是通過耐腐蝕的阻容式等濕度傳感器測定煙氣中含水分量的方法，目前在國內應用較多。激光光譜法是基于半導體激光器發出的特征光譜被水汽吸收的原理測定煙氣的濕度;紅外光度法也是利用水汽對紅外光源發射的紅外線光譜對特定譜線的吸收原理測定煙氣水分。

　　高溫煙氣濕度儀在現場調試中也必須進行校準，采用標準規定的參比方法與儀器檢測同步進行，參比方法采用手工測量方法，可選用重量法、冷凝法、干濕球法中的任一種方法測定。

　　通常在檢測時，每天至少獲得5個數據對，連續三天，將參比方法測定斷面的平均值減去儀器顯示的煙氣水分值，計算煙氣水分儀檢測的絕對誤差或相對誤差。

　　也可以在現場用一個穩定的標準濕度發生器提供所需的濕度、并采用一臺高溫煙氣濕度儀準確測定其露點，在對煙氣水分儀進行校準。要求用于露點校準的儀器必須經過國家認可的實驗室校準。