微量氧分析儀分為兩種分析原理：分別為燃料電池法微量氧分析儀和氧化鋯微量氧分析儀.使用的范圍也比較廣：鋼鐵、冶金、熱電、石化、化工、焦化、PVC、多晶硅、合成氨等行業均能使用到，其中微量氧分析儀分類如下：
①空分制氧、空分制氮、化工流程氧含量自動分析
② 電子行業保護性氣體中氧含量分析，如：氮氣中微量氧測試
③ 磁性材料等高溫燒結爐的保護性氣體中氧含量分析
④ 玻璃、建材行業中氧含量分析及各種行業中氧含量分析.
微量氧的分析方法主要有比色法、化學電池法、黃磷發光法、濃差電池法和氣相色譜法。
微量氧分析儀的測量位應盡可能與測量單位接近，以避免過長的管線和過多的不確定因素，影響測量數據的可靠性。樣品中的水分在管壁上冷凝凝結，造成對微量氧的溶解吸收，應根據情況對取樣管線采取絕熱保溫或伴熱保溫措施。
