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壓電·鏡片偏擺臺 Mirrors.Z12TxTy0101

? 3自由度調節，通孔型搖擺臺，毫秒級運動響應，高分辨率解決方案

• 并聯結構設計保證三自由度調節；

• 直徑10 mm 通孔；

• 最大行程 12 μm；

• ms級響應；

• 主體材料：鋁合金 & 不銹鋼；

• 最高精度μrad級別；

• 控制器 MC – Archimedes.N3S；

• 閉環傳感器：SGS；

• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；

壓電位移臺快反鏡，3自由度調節，高速擺鏡——詳細參數：

壓電位移臺快反鏡，3自由度調節，高速擺鏡——尺寸圖：

多場科技Mirrors高速擺鏡系列實現單軸/雙軸/三軸全運動行程，高動態鏡片運動控制，閉環操作；支持多自由度運動，支持無磁，高真空兼容版本；也提供大行程鏡片運動控制