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163次原子熒光光譜法具有很高的靈敏度，校正曲線的線性范圍寬，能進行多元素同時測定。在環境科學、高純物質、礦物、水質監控、生物制品和醫學分析等方面有廣泛的應用。近年來，隨著我國面臨嚴峻的土壤污染形勢，原子熒光光譜儀作為土壤污染檢測的主要手段之一，在土壤檢測工作中得到廣泛應用。
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