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產地類別	進口	產品種類	倒置
價格區間	面議	配備圖像分析系統	否
應用領域	綜合

金相顯微鏡BX51M

金相顯微鏡BX51M暗視場可以讓用戶觀察來自樣本散射和衍射的光線。光源的光線會先穿過照明裝置中的環形光學照明器件，然后在樣本上聚焦。樣本上的光線只是由Z 軸上的瑕疵反射形成的。因此，用戶可以觀測到比光學顯微鏡分辨極限更小的、8 nm 級的微小劃痕和缺陷。暗視場適合檢測樣本上的微小劃痕及瑕疵和檢查表面光滑的樣本，包括晶圓。

偏振光觀察法

該顯微觀察技術所使用的偏振光是由一組濾鏡（檢偏振器和起偏振器）產生的。樣本特征會直接影響系統反射光的強度。該觀察法適用于觀察金相組織（例，球墨鑄鐵中石墨的生長圖案）、礦物、LCD 和半導體材料。

微分干涉（DIC）觀察法

DIC 是一種顯微觀察技術，可以將明視場觀察法中無法檢測到的高度差異，用增強的對比度以浮雕或三維圖像的形式表現出來。該項基于偏振光的技術，擁有三個專門設計的棱鏡可供選擇以滿足用戶的需求。該觀察法適用于檢測高度差異極其微小的樣本，包括金相組織、礦物、磁頭研磨面和硬盤表面及晶圓研磨面。

熒光觀察法

半導體晶圓上的顆粒

該項技術適用于觀察那些在受到專門設計的濾鏡（可以按照檢測需要制作）照明時會發出熒光（發出不同波長的光線）的樣本。該方法通過熒光染色，應用于觀測半導體晶圓表面的污物、抗蝕劑的殘渣和裂痕的檢測。可以添加選購的復消色差光源聚光透鏡系統，從而為可見光到近紅外線范圍內的色差進行補償。

IR（紅外線）觀察法

硅晶片層下的半導體電路

對使用了硅片、玻璃等易透射紅外線的電子設備的內部進行無損檢測時，IR 觀察十分有效。IR 物鏡也可用于近紅外線技術，如：拉曼光譜儀和YGA 激光修復應用。

處理濾鏡

OLYMPUS Stream 擁有各種濾鏡，可用于邊緣檢測、平滑處理和其它操作。使用處理濾鏡在拍攝的圖像上進行增強和修改處理后，圖像的特征變為可視化。為達到最適宜效果，可使用預覽圖檢查或調整濾鏡的效果。

透射光觀察法

LCD彩色濾鏡

對于透明樣本，如，LCD、塑料和玻璃材料，可通過使用各種透射光聚光鏡實現真正的透射光觀察。使用透射光可以在明視場、暗視場、DIC 和偏振光中對樣本進行成像和檢查--所有這些都在一個便捷的系統里。

自動制作3D 圖像（EFI）

硬幣細節

使用BX61 或外部電動調焦單元，便可以快速地記錄并組合超出焦深之外的樣本的圖像。只需一鍵操作，使用EFI 功能便可以將各個不同焦深的圖像合成一幅3D 圖像。最終的3D數據可用于3D 觀察或用于測量高度和距離。

			BX61		BX51	BX51M		BX41M-LED
光學系統			UIS2光學系統（無限遠校正）
機身	照明裝置		反射／透射			反射		反射（對應ESD功能）
			外置12 V 100 W光源光量預調開關 LED電壓指示反射／透射光轉換開關		內裝12 V 100 W光源光量預調開關 LED電壓指示反射／透射光轉換開關	內裝12 V 100 W光源光量預調開關 LED電壓指示		內裝3 W白色LED光源光量預調開關
	對焦單元		電動調焦行程25 mm 最小刻度單位為0.01 μm		行程25 mm 微調旋鈕1圈的微調行程為100 μm 最小刻度單位為1 μm 可設聚焦粗調上限停止位置，粗調旋鈕張力可調
	最大標本高度		25 mm（不包含臂長調節器）			65 mm（不包含臂長調節器）
觀察筒	廣角視場（視場數為22）		倒置∶雙目鏡筒、三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒正象∶三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒
	超寬視場（視場數為26.5）		倒置∶三目鏡筒正象∶三目鏡筒、傾斜式三目鏡筒
反射光照明裝置	明視場等		BX-RLAA 電動明／暗視場轉換電動孔徑光闌		BX-RLA2 100 W鹵素燈（可裝高亮度光源、光纖照明裝置）明視場／暗視場／微分干涉／簡易偏振光視場光闌和孔徑光闌（帶中心輸出機構）、明／暗視場法連動的ND濾鏡			BX-AKMA-LED/BX-KMA-LED 3 W白色LED照明明視場／微分干涉／簡易偏振光對應ESD功能僅BX-AKMA-LED具有的功能：斜射照明裝置 AS（帶中心輸出機構）斜射照明的位置設置
	反射光熒光		BX-RFAA 電動六孔轉盤內置電動光閘備有視場光闌和孔徑光闌		BX-URA2 100 W汞燈、75 W氙氣燈六孔分光鏡組件（標準∶WB、WG、WU＋BF等）備有視場光闌和孔徑光闌（帶中心輸出機構）及光閘機構
透射光照明裝置			100 W鹵素燈阿貝聚光鏡／長工作距離聚光鏡內置透射光濾鏡（LBD、ND25、ND6）			-
物鏡轉換器	明視場用		電動六孔		六孔、中心輸出六孔、七孔（電動物鏡轉換器選購件）			五孔、六孔（對應ESD功能）、七孔
	明／暗視場用		電動五孔、電動六孔、中心輸出五孔		五孔、中心輸出五孔、六孔（電動物鏡轉換器選購件）			-
載物臺			帶左手（右手）用同軸驅動旋鈕的載物臺：76 (X) × 52 (Y) mm，張力可調帶左手（右手）用同軸驅動旋鈕的大型載物臺：100 (X) × 105 (Y) mm，附設Y軸鎖定機構
ESD性能			-					表面電阻108Ω以下，放電時間少于0.2秒*
外形尺寸			約318（寬） × 602（長）× 541（高） mm		約318（寬） × 602（長） × 480（高）mm	約318（寬） × 602（長） × 480（高）mm		約283（寬） × 455（長） × 480（高）mm
重量			約25.5 kg （機身約重11.4 kg）		約20.8 kg （機身約重10.3 kg）	約19.5 kg （機身約重9.8 kg）		約14 kg （機身約重6.7 kg）
				BXFM			BXFM-S
光學系統				UIS2光學系統（無限遠校正）
機身		對焦單元		行程30 mm、微調旋鈕1圈的微調行程為200 μm、最小刻度單位2 μm、粗調旋鈕張力可調
觀察筒		廣角視場（視場數為22）		倒置∶雙目鏡筒、三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒正象∶三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒
		超寬視場（視場數為26.5）		倒置∶三目鏡筒正象∶三目鏡筒、傾斜式三目鏡筒
反射光照明裝置		明視場等		BX-RLA2 100 W鹵素燈（可裝高亮度光源、光纖照明裝置）明視場／暗視場／微分干涉／簡易偏振光備有視場光闌和孔徑光闌（帶中心輸出機構）			U-KMAS 100 W鹵素燈光纖照明裝置明視場／微分干涉／簡易偏振光
		反射光熒光		BX-URA2 100 W汞燈、75 W氙氣燈六孔分光鏡組件（標準：WB、WG、WU+BF等）備有視場光闌和孔徑光闌（帶中心輸出機構）及光閘機構			-
物鏡轉換器		明視場用		六孔、中心輸出六孔、七孔（電動物鏡轉換器選購件）
		明／暗視場用		五孔、中心輸出五孔、六孔轉盤（電動物鏡轉換器選購件）
外形尺寸				約248 （寬） × 587 （長） × 249 （高） mm			約394 （寬） × 334 （長） × 276 （高） mm
重量				約9 kg（標準組合）			約6.2 kg （標準組合）

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