弗萊貝格X-ray Diffractometer
使用X 射線衍射儀XRD  進(jìn)行晶圓棒，晶圓片及晶錠的生產(chǎn)質(zhì)量控制
晶棒定向 |  晶圓片分析|  石英片 分選
定向：
AT | SC | IT | TF | X | Y | Z

弗萊貝格X-ray Diffractometer
 

Quartz XRD的特點(diǎn)：

 檢測速度: 2 s (AT quartz)
高精度: ≤ 10 arcsec 標(biāo)準(zhǔn)偏差
空間分辨率： 1 mm ± 0.1 mm
› 測定相對于樣品的取向傾角
› 自動顯示角度分量(Theta & Phi) ，包括標(biāo)準(zhǔn)偏差

德國工藝: 穩(wěn)健及模塊化設(shè)計
› 軟件: 易于使用的軟件套件與多個用戶級別。自動顯示、記錄和報告測量數(shù)據(jù)
› 自動化: 定制不同規(guī)格的晶圓片或blank的樣品處理系統(tǒng)，包括機(jī)器人，取放，振動分揀機(jī)