LAUDA-Noah POU熱電工藝過程恒溫器是用在半導體行業，提供從-20到90C的溫度控制

滿足苛刻的工藝過程快速和溫度控制

熱電在線使用(POU)溫度控制系統為等離子刻蝕工藝提供穩定的溫度控制。系統動態地控制靜電卡盤(ESC)的溫度并可以用在任何的刻蝕工藝中。LAUDA-Noah POU熱電溫度控制系統設計的基礎是基于帕爾帖元件的溫度變化原理。這些原件可以實現快速且準確的溫度控制，滿足了當今生產尺寸越來越小器件的要求。

重要功能

低能耗沒有壓縮機和制冷劑的系統

工業領域占地小，如果放置到地板下方則沒有占地空間要求

極低的導熱液體填充量

標配附件

帶有手動泵的加液罐

選配附件

可以遠程控制的通信模塊(RS-485通信協議)

LAUDA-Noah POU在線使用(POU)溫度控制系統與壓縮機系統相比可以節省到90%的能量?？蛇x擇安裝在地板下面選項使系統的占地很小，節省了潔凈室的空間。