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BASIS質量流量控制器量程范圍增加到20 SLPM

時間:2016/6/6閱讀:3093
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外型輕巧、兼容性強、高精度的艾里卡特BASIS基礎版質量流量控制器專為批量采購的OEM設備集成商而設計,滿量程流量范圍已覆蓋100 SCCM、1000 SCCM、20 SLPM三種,均支持數字通訊。

隨著量程范圍的加大,基礎版質量流量控制器的應用范圍將更廣,例如: 樣氣稀釋、噴氣反應 、氣體混合系統等。

BASIS基礎版質量流量控制器BASIS基礎版質量流量控制器為OEM系統集成用戶提供快速、高精度且經濟的流量測量與控制方案。控制響應速度快至100毫秒的BASIS基礎版質量流量控制器對入口處的流量波動作出實響應、將出口端流量穩定控制至規定的流量值,精度為NIST可溯源:+/-(1.5% Rd + 0.5% F.S.)。

BASIS基礎版質量流量控制器向用戶開放相對靈活的氣體切換選項,用戶可在欲標定氣體Air, Ar, CO2, N2, O2, N2O中自行切換,但若預設氣體為He或H2,則不可切換成其它氣體。對于系統集成用戶而言,靈活的氣體切換意味著可將BASIS基礎版質量流量控制器用于多個不同項目。氣體切換可通過各種通訊模式實現――RS-485、RS-232、Modbus串口通訊以及0-5 Vdc模擬信號。BASIS基礎版質量流量控制器同時開放數字通訊和模擬通訊,無論PLC或PC,均可輕松控制。

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