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高精度微型六維位移臺
昊量光電設備有限公司推出的六足位移平臺是基于線性平臺模組開發的六維運動控制系統。該平臺可提供六個自由度控制（XYZ和繞三個軸的旋轉）。與常規的六足平臺相比該平臺，該平臺體積更緊湊，擁有較高的剛度和較低的運動質量，并且客戶可以自定義虛擬運動軸點。
由于平臺均采用模塊化設計，因此其運動尺寸和作用力可以根據需求的不同做定制，行程可從幾厘米到一米，分辨率可達到納米量級。
產品擁有以下特點：
1）擁有六個自由度
平臺是一個并聯運動納米操作系統，不同于常規的堆疊設計，該平臺由多個線性平臺同時運動驅動。定位器的平行設置優化了整個系統的剛度，并允許控制所有六個自由度（X,Y,Z,俯仰，偏航和旋轉）
2）用戶可自定義軸心點
可自由設置軸心點，可繞空間任意一點旋轉
3）多選項
高&超高真空兼容
非磁材料
抗紫外線材料
4）高分辨率和重復精度
無反向空回的機械設計使該系統與線性平臺有相同的量級的性能，分辨率可達到1nm和1μrad，X,Y,Z的雙向可重復性可達到200nm，旋轉重復精度可達10μrad，對于小行程重復精度會更高。
上海昊量提供的六維調節架主要包含以下幾款產品。
Positioner Series | 70.42 | 115.25 | 110.45 | 225.75 | P-SLC-17 | P-SLC-24 | P-SLL | Wafer-2000 | |
Picture |  |  |  |  |  |  |  |  | |
Travel (mm) | X | 10 | 11 | 20 | 41 | 48 | 79 to 119 | 20 to 1200 | 200 |
Y | 10 | 11 | 20 | 41 | 28 to 48 | 45 to 119 | 45 to 119 | 200 | |
Z | 5 | 5 | 11 | 21 | ≤9 | ≤12 | ≤16 | 10 | |
Rotation(°） | Qx | 14 | 18 | 21 | 20 | ≤28 | ≤31 | ≤42 | 6 |
Qy | 16 | 20 | 24 | 23 | ≤26 | ≤27 | ≤33 | 7 | |
Qz | 28 | 37 | 38 | 41 | ≤20 | ≤42 | ≤42 | 24 | |
repeatability forfull travel range | nm | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 |
μrad | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | |
max. vertical load [N] | 5 | 5 | 5 | 10 | 5 | 10 | 10 | 20 | |
max. horizontal load [N] | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 5 | 2.5 | 5 | 5 | ||
dimension [mm2] | F70 | F115 | F110 | F225 | 110´50 | 110´90 | 250´80 | 420´430 | |
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