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更新時(shí)間：2025-05-04 21:00:07
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EUV，X射線波前探測器（X射線光束分析儀）
該款EUV，X射線Hartmann-Shack波前傳感器配置是為全面分析激光束和光學(xué)特性而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)采用微透鏡陣列將入射波分成大量的子射線（如右下圖），每個(gè)焦點(diǎn)的強(qiáng)度和位置由CCD相機(jī)獲取，經(jīng)后續(xù)計(jì)算重構(gòu)得到光強(qiáng)分布和波前分析。
主要特點(diǎn)：
EUV，X射線波前探測器（X射線光束分析儀）
該款EUV，X射線Hartmann-Shack波前傳感器配置是為全面分析激光束和光學(xué)特性而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)采用微透鏡陣列將入射波分成大量的子射線（如右下圖），每個(gè)焦點(diǎn)的強(qiáng)度和位置由CCD相機(jī)獲取，經(jīng)后續(xù)計(jì)算重構(gòu)得到光強(qiáng)分布和波前分析。
主要特點(diǎn)：
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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