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高低溫真空探針臺
  • 高低溫真空探針臺
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-02-24 13:42:57

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5VC真空探針臺可實現高真空環境下的高溫及低溫電學性能測量,真空腔一體成型,具有設計合理,真空度穩定,溫控精度及機械精度高等特點;根據測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到1000℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至77K/10K,;真空系統可選機械泵或分子泵系統,真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。高低溫真空探針臺

高低溫真空探針臺

高低溫真空探針臺概述

M5VC真空探針臺可實現高真空環境下的高溫及低溫電學性能測量,真空腔一體成型,具有設計合理,真空度穩定,溫控精度及機械精度高等特點;根據測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到1000℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至77K/10K,;真空系統可選機械泵或分子泵系統,真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。

應用

可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。

技術參數

顯微鏡配置               顯微鏡/視頻顯微鏡

顯微鏡                      放大倍數50倍

視頻成像配置            CCD成像系統,放大倍數300倍

樣品臺尺寸80mm     漏電電流<10fA

真空室真空度            10-3Torr (10-6Torr或更高可選)

探針座配置               x/y/z行程40mm 精度 1μm

探針配置                  尺寸 0.5X30mm 材質 金

溫度范圍                  77K-570K  液氮制冷 10K-570K  液氦制冷     溫度可到1000K

觀察窗尺寸              100mm

真空系統                  機械泵或分子泵

接口配置                  三同軸

測試源表                  連接各類測試源表,并可進行相應的軟件二次開發,加大系統整合性及測試穩定性

 

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