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產品簡介
GE德魯克諧振式壓力傳感器美國進口儀器改進試驗和提高效率的需求促使這一廣闊的細分市場中的各種應用不斷發展。汽車試驗、試驗臺、測漏系統和工業研發都圍繞改善結果和性能這個主題，這需要具有較高的測量精度。
詳細介紹
GE德魯克諧振式壓力傳感器美國進口儀器簡單介紹
高精度諧振式壓力傳感器 RPS/DPS 8000利用新RPS/DPS 8000傳感器提高壓力測量精度 這種新RPS/DPS 8000諧振式硅壓力傳感器是*款融合了GE TERPS技術平臺的壓力傳感器。 與現有技術相比，TERPS（溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器）可提供更高的性能等級，是具有zui高的精度和穩定性的傳感器。這種傳感器還可大幅提高諧振壓力技術（RPT）傳感器通常具有的壓力范圍
zui高的精度和穩定性
用硅改善性能：
高精度諧振式壓力傳感器 RPS/DPS 8000
利用DRiE工藝進行硅加工的示例
Wafer_in_DRIE_Process
DRiE工藝水
我們在制造TERPS諧振器元件時充分利用了硅的力學性能。
為了優化和平衡諧振器的設計，我們采用了深度反應離子刻蝕（DRIE）硅技工技術。 DRIE可以設計具有復雜和多變幾何形狀的結構。
精度為0.01% FS（100 ppm）
穩定性為0.01% FS/年（100 ppm）
壓力和溫度范圍大
GE德魯克諧振式壓力傳感器美國進口儀器硅熔融黏結工藝：
TERPS僅根據硅的力學性能進行設計，可以用于 -40 至to 85 °C（-40至185 °F）的溫度范圍。
這種設計還可以通過硅熔融黏結（SFB）工藝在諧振器上黏結不同厚度的硅，以便于用于高達70 bar（1000 psi）的壓力范圍。
TERPS 傳感器元件橫截面
SFB硅層橫截面
堅固和可靠的包裝
深度反應離子刻蝕（DRIE）可以設計具有復雜和多變幾何形狀的結構，并且可以使諧振器位于水平面上。 諧振器必須具有足夠的剛度，以將能量損失降至zui低，并采用油浸絕緣結構。
全焊TERPS模塊可以使*設計工程師利用標準材料包裝傳感器。 這種產品封裝在316L不銹鋼模塊中，起調節作用的電子設備位于25mm的主體管中。它提供一系列壓力和電氣接頭。
GE德魯克諧振式壓力傳感器美國進口儀器
特色
•壓力和電氣接頭選擇范圍大，可滿足具體的要求
應用
石油天然氣
現在對清潔、安全和有效采油的要求與日俱增，所以在上游和中游的勘探、鉆井、采油和運輸階段就需要按照很高的精度水平進行測量。RPS/DPS 8000壓力傳感器就應運而生了。
應用包括：BR-126_Oil-and-Gas_13
井口監測
輸油監測
航空航天
為了滿足對軍用和商用飛機性能與日俱增的要求，系統需要更為高效地工作，也需要更為精準的測量和控制。
應用包括：
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空氣數據試驗系統
環境控制系統
液壓控制系統
飛行試驗
地面試驗
航空電子設備的地面支持設施
環境研究
隨著人們對氣候變化的關注度日益上升，以及對了解其潛在影響的需要，這都使科學界更專注于獲得zui為精準和可靠的數據，以提供*的結果和結論。
應用包括：
海洋學
波浪和潮汐測量儀器
錨固和漂移的數據浮標
海嘯預警系統
海底測繪
遙控車輛（ROV）
水下自控車輛（AUV）
氣象
遠程天氣監測站
水面數據浮標
GPS技術
水文
大壩和水庫液位感測
河流測量
靜水槽測量
壓力計更換
發電
世界能耗需求增長非常快，這種速度超出了供應能力。 RPS/DPS 8000壓力傳感器設計用于各種應用，提高了燃油控制效率和燃氣渦輪機流量的關鍵監測效率。 這種傳感器還有可能用于核能、風能和地熱能等應用場合。
工業
改進試驗和提高效率的需求促使這一廣闊的細分市場中的各種應用不斷發展。汽車試驗、試驗臺、測漏系統和工業研發都圍繞改善結果和性能這個主題，這需要具有較高的測量精度。
利用全新的TERPS技術進行設計
• 高精度，±0.01% FS（在補償溫度范圍內）
•高度穩定，±100 ppm FS/年
• 壓力范圍從2 bar（30 psi）至 70 bar（1000 psi），壓力
•溫度范圍大， -40 °C 至+85 °C（-40 °F至185 °F）
• 采用介質隔離結構，適用于惡劣環境
• 多輸出配置，TTL和二極管，RS-232和RS-485
當開發這種新的TERPS技術時，我們主要是為了提供一種具有zui高精度和穩定性的傳感器，可以用于較大的壓力和溫度范圍；并且具有堅固、可靠的包裝，可用于惡劣環境。
zui高的精度和穩定性
用硅改善性能：
- 我們在制造TERPS諧振器元件時充分利用了硅的力學性能。
- 為了優化和平衡諧振器的設計，我們采用了深度反應離子刻蝕（DRIE）硅技工技術。 DRIE可以設計具有復雜和多變幾何形狀的結構。
- 精度為0.01% FS（100 ppm）
- 穩定性為0.01% FS/年（100 ppm）
壓力和溫度范圍大
硅熔融黏結工藝：
- TERPS僅根據硅的力學性能進行設計，可以用于 -40 至to 85 °C（-40至185 °F）的溫度范圍。
- 這種設計還可以通過硅熔融黏結（SFB）工藝在諧振器上黏結不同厚度的硅，以便于用于高達70 bar（1000 psi）的壓力范圍。
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| TERPS 傳感器元件橫截面 | SFB硅層橫截面 |
