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| 價格區間 | 面議 | 儀器種類 | 雙晶衍射 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統XRD
晶圓x射線晶體定向儀分揀系統用于全自動分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測定等。Si | SiC | AlN | 藍寶石（Al2O3） | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
產品介紹：
晶圓XRD的特點：
◇ 自動化的晶圓處理和分類系統（例如：盒到盒）。
◇ 晶體取向和電阻率測量
◇ 晶片的幾何特征（缺口位置、缺口深度、缺口開口角度、直徑、平面位置和平面長度）的光學測定
◇ 未拋光的晶圓和鏡面的距離測量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
Omega-scan方法：
◇ 高的精度
◇ 測量速度： < 5秒/樣品
◇ 易于集成到工藝線中
◇ 典型的標準偏差傾斜度（例如：Si 100）： < 0.003 °，小于< 0.001 °。
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