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高速沖程
提升泵的沖程速度 (最高達240 spm)，讓制造過程中，大大減少泵的尺寸、重量、成本，及降低脈動。
無污染設計
過流端零件均采用氟樹脂材質，沒有金屬零件外露的設計，外殼采用氟樹脂材質。使用的軸封 (已申請)，能顯著降低顆粒的產生。
液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力
液體輸送溫度范圍高達5 - 180°C，吐出壓力高達45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程，同時適用于化學液體供藥。
易于維護
更換開關無需拆卸，不需定期收緊螺栓，減少了停機時間。
傳感器驅動系統
內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
規格
最大吐出量 | 55 L/min |
最大吐出壓力 | 0.5 MPa |
最大耗氣量 | 670 NL/min |
最大沖程率 | 240 spm |
主要材質 | PTFE, PFA |
液體輸送溫度范圍 | 5 ~ 180 °C |
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