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四探針檢測儀 四探針電阻率測定儀 型號： RTS-8
RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的專用儀器。

四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀  型號： RTS-8 
  RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。 
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。 
儀器采用了電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。 
本儀器于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。 

技　術(shù)　指　標 ：  

電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可擴展)；  
 方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可擴展)； 
 電導(dǎo)率：10^-5～10⁵ s/cm； 
 電阻：10^-5～10⁵ Ω；   

可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）； 
200mmX200mm（配S-2B型測試臺）； 
400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；  
恒流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)  
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　 
分辨力：10μV； 
輸入阻抗：>1000MΩ； 
精度：±0.1% ； 
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動顯示；  
四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm； 
針間緣電阻：≥1000MΩ；  
機械游移率：≤0.3%； 
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 
探針壓力：5～16 牛頓（總力）；  
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）  
模擬電阻測量相對誤差 
（ 按JJG508-87進行） 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字  
整機測量大相對誤差 （用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%  
整機測量標準不確定度 ≤5%  
計算機通訊接口 并口  
標準使用環(huán)境 溫度：23±2℃； 
相對濕度：≤65%； 
無高頻干擾； 
無強光直射；  


配置 四探針測試儀主機、探針臺、四探針探頭、

      四探針測試儀主機、 探針臺、 四探針探頭、測試軟件(含測控模塊)