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ATA-2161高壓放大器基于單端接觸原理的LED外延片無損檢測的應用

時間:2025/6/6閱讀:85
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  實驗名稱:基于單端接觸原理的LED外延片無損檢測

  實驗內容:基于單注入模式,使用新型檢測系統獲取LED外延片的電學參數與光學參數。

  研究方向:LED外延片檢測

  測試設備:光譜儀、函數信號發生器、ATA-2161高壓放大器、顯微鏡及成像系統、示波器、電腦等。

  實驗過程:


實驗裝置原理圖


  圖1:實驗裝置原理圖

  首先對LED外延片進行光致發光(PL)測試,通過光譜儀獲取峰值波長。然后,將測試設備按圖1所示連接完畢后,將待測LED外延片放置在ITO玻璃上,緩慢下降探針,直至LED外延片產生電致發光現象。通過光譜儀獲取峰值波長,示波器獲取電學參數。最后,使用傳統的電致發光(針測)對LED外延片進行測試。在保證光譜儀軟件顯示的相對強度在一致或接近時,獲取LED外延片的電學參數和光學參數。

  實驗結果:


SC-EL所獲得的光學參數與針測所獲得的光學參數


  圖2:SC-EL所獲得的光學參數與針測所獲得的光學參數


SC-EL所獲得的光學參數與針測所獲得的光學參數


  圖3:SC-EL所獲得的光學參數與針測所獲得的光學參數

  由于針測獲得的數據具有可靠性,因此將其作為標準值來比較PL測試與單端接觸電致發光(SC-EL)測試所獲得數據的準確性。實驗結果表明,SC-EL所獲得的光學參數與針測所獲得的光學參數更加接近并且不會對LED外延片造成機械性損傷(如圖2、圖3所示)。此外,SC-EL所獲取的電學參數與針測所獲取的電學參數(反向漏電流)具有同樣的趨勢,可以反映針測所獲取數據的水平(如圖4所示)。


針測所獲取數據的水平


  圖4:針測所獲取數據的水平

  高壓放大器推薦:ATA-2161



  圖:ATA-2161高壓放大器指標參數

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