目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSH300-III-DCDCRF-SS非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀
產地類別 | 國產 | 價格區間 | 30萬-50萬 |
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應用領域 | 生物產業,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,制藥/生物制藥 |
非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一款緊湊型2英寸單頭射頻等離子磁控濺射系統,涂有非金屬,主要是氧化物薄膜。磁控濺射鍍膜儀將所有元件集成到一層立式機柜中,包括射頻電源、石英真空室、真空泵、再循環冷水機組和薄膜厚度監控器等。
等離子磁控濺射鍍膜儀產品用途:
等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優良且具有成本效益的涂膜機,用于研發非導電材料薄膜。
磁控鍍膜儀典型應用:
• 科研領域:納米材料、薄膜器件、光學涂層等研究。
• 電子行業:半導體、傳感器、導電薄膜制備。
• 教學演示:材料科學、真空技術實驗教學。
• 以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例,涵蓋科研、工業及教學領域,體現其多功能性和廣泛
非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術規格:
項目 | 明細 | |
產品型號 | CY-MSH300-III-DCDCRF-SS | |
供電電壓 | AC220V,50Hz | |
整機功率 | 6KW | |
系統真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ185mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調轉速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ300mm,高度500mm |
腔體材質 | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
開啟方式 | 頂開式 | |
氣體控制 | 1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM | |
真空系統 | 配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源500W*2,射頻電源500W | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制系統 | |
設備尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
設備重量 | 350kg |
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