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目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSH300-III-DCDCRF-SS非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀

非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀

  • 非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀
  • 非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀
  • 非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀
參考價 280000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
280000
≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 CYKY
  • 型號 CY-MSH300-III-DCDCRF-SS
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 鄭州市
屬性

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更新時間:2025-08-05 10:09:09瀏覽次數:59評價

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產地類別 國產 價格區間 30萬-50萬
應用領域 生物產業,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,制藥/生物制藥
非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一款緊湊型2英寸單頭射頻等離子磁控濺射系統,涂有非金屬,主要是氧化物薄膜。磁控濺射鍍膜儀將所有元件集成到一層立式機柜中,包括射頻電源、石英真空室、真空泵、再循環冷水機組和薄膜厚度監控器等。

非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一款緊湊型2英寸單頭射頻等離子磁控濺射系統,涂有非金屬,主要是氧化物薄膜。磁控濺射鍍膜儀將所有元件集成到一層立式機柜中,包括射頻電源、石英真空室、真空泵、再循環冷水機組和薄膜厚度監控器等。

等離子磁控濺射鍍膜儀產品用途
 

等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優良且具有成本效益的涂膜機,用于研發非導電材料薄膜
 

磁控鍍膜儀典型應用:

•    科研領域:納米材料、薄膜器件、光學涂層等研究。

•    電子行業:半導體、傳感器、導電薄膜制備。

•    教學演示:材料科學、真空技術實驗教學。

•    以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例,涵蓋科研、工業及教學領域,體現其多功能性和廣泛

非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術規格:

項目

明細

產品型號

CY-MSH300-III-DCDCRF-SS

供電電壓

AC220V50Hz

整機功率

6KW

系統真空

5×10-4Pa

樣品臺

外形尺寸

φ185mm

加熱溫度

500℃

控溫精度

±1

可調轉速

20rpm

磁控靶槍

靶材尺寸

直徑Φ50.8mm,厚度3mm

冷卻模式

循環水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔體

腔體尺寸

直徑φ300mm,高度500mm

腔體材質

SUU304不銹鋼

觀察窗口

直徑φ100mm

開啟方式

頂開式

氣體控制

1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

真空系統

配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S

膜厚測量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

濺射電源

直流電源500W*2,射頻電源500W

控制系統

CYKY自研專業級控制系統

設備尺寸

600mm   × 650mm × 1280mm

設備重量

350kg

 


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