目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>石墨烯制備>> CY-O1200-50SDM小型雙爐體滑道管式爐
小型雙爐體滑道管式爐同時可選擇電動滑軌、質量流量計（MFC）控制的供氣系統和等離子射頻電源來搭建CVD系統。
該設備可用于石墨烯制備、硫化物制備等。
小型雙爐體滑道管式爐技術參數：
微 型 管 式 爐 產品型號 CY-O1200-50SDM 爐管材質 高純石英 爐管直徑 50mm 爐管長度 1400mm 加熱區長 300mm 恒溫區長 200mm 工作溫度 0～1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 高亮數碼管數字顯示 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統 產品型號 CY-3Z 氣體通道 3通道 測量部件 氣體質量流量計 測量量程 A通道：0～100SCCM H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 B通道：0～300SCCM N2氣 C通道：0～500SCCM Ar氣 測量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規格 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統 機械泵 旋片泵 抽氣速率 4L/S 排氣接口 KF16 真空測量 電阻規 極限真空 1.0E-1Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 抽氣接口 KF16
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