目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSZ180G-DC桌面型石英腔體單靶磁控鍍膜儀
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
本設備為桌面型石英腔體單靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計，將設備外形限制在了桌面級別，大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源，能夠用于濺射金屬材料，具有速度快溫升低等特點。
磁控鍍膜儀典型應用：
• 科研領域：納米材料、薄膜器件、光學涂層等研究。
• 電子行業：半導體、傳感器、導電薄膜制備。
• 教學演示：材料科學、真空技術實驗教學。
• 以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例，涵蓋科研、工業及教學領域，體現其多功能性和廣泛應用價值：
桌面型石英腔體單靶磁控鍍膜儀技術參數：
桌面型單靶磁控鍍膜儀 | ||
樣品臺 | 尺寸 | φ100mm |
加熱 | *高500℃ | |
轉速 | 0-20可調 | |
磁控濺射靶 | 數量 | 2" x1 |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X 215mm |
觀察窗口 | 全向透明 | |
腔體材料 | 高純石英 | |
開啟方式 | 上蓋拆卸式 | |
真空系統 | 機械泵 | 旋片泵 |
分子泵 | 渦輪分子泵 | |
真空測量 | 電阻規+電離規 | |
抽氣接口 | KF16 | |
抽氣接口 | KF40 | |
排氣接口 | KF16 | |
極限真空 | 1.0E-4Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 機械泵1.1L/s 分子泵600L/s | |
電源配置 | 數量 | 直流電源 x1 |
*大輸出功率 | 直流電源150W | |
其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機功率 | 2kW | |
整機尺寸 | 550mm X 350mm X400mm | |
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