目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSH325-III-DCDCRF-SS3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是一種三頭1"射頻等離子體磁控濺射系統，設計用于非金屬薄膜涂層，主要用于多層氧化物薄膜。緊湊型磁控濺射鍍膜儀是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜機。可根據金屬薄膜沉積要求選擇直流磁控濺射，可配置3個直流、1個射頻/ 2個直流和2個射頻/ 1個直流濺射頭。
緊湊型磁控濺射鍍膜儀應用領域：
這款緊湊型3靶磁控濺射鍍膜機專為在氧化物單晶基板上涂覆氧化物薄膜而設計，通常不需要高真空設置。
3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀技術規格：
項目 | 明細 | |
產品型號 | CY-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
供電電壓 | AC220V，50Hz | |
整機功率 | 4KW | |
系統真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ140mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調轉速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ325mm，高度500mm |
腔體材質 | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
開啟方式 | 頂開式 | |
氣體控制 | 1路質量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM | |
真空系統 | 配分子泵系統1套，氣體抽速600L/S | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源500W*2,射頻電源500W | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制系統 | |
設備尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
設備重量 | 350kg | |
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