目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSH325- I-DC-SS大功率直流磁控濺射鍍膜儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
大功率直流磁控濺射鍍膜儀產(chǎn)品內(nèi)容：
直流磁控濺射鍍膜儀包含一個2英寸水冷靶頭和可旋轉(zhuǎn)樣品臺。水冷靶頭使鍍膜后的樣品表面不會因鍍膜溫度過高而變形，甚至損壞樣品；樣品臺可旋轉(zhuǎn)，可以使樣品邊旋轉(zhuǎn)邊鍍膜使鍍膜后的樣品表面膜后均勻。設備外形小巧，性價比高，是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設備，可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設備使用。
大功率直流磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格：
項目 | 明細 | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSH325- I-DC-SS | |
供電電壓 | AC220V，50Hz | |
整機功率 | 4KW | |
系統(tǒng)真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ150mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調(diào)轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環(huán)水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ325mm，高度500mm |
腔體材質(zhì) | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
開啟方式 | 頂開式 | |
氣體控制 | 1路質(zhì)量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM | |
真空系統(tǒng) | 配分子泵系統(tǒng)1套，氣體抽速600L/S | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源500W | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng) | |
設備尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
設備重量 | 350kg | |
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