目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSH500- II-DCRF-SS雙靶磁控濺射鍍膜儀
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
雙靶磁控濺射鍍膜儀CY-600-2HD為我公司研發的配有兩個靶位的小型實驗室用鍍膜儀，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜等。與同類設備相比，這款雙靶磁控濺射鍍膜儀不僅應用廣泛，切體積小便于操作，是一款實驗室制備薄膜的理想設備。
產品特點
1：此款鍍膜儀配置有兩個靶槍：一個靶槍配套的是射頻電源，用于非導電靶材的濺射鍍膜；一個靶槍配套的是直流電源，用于導電材料的濺射鍍膜
2：該鍍膜儀可以制備多種不同材料的薄膜，應用非常廣泛。
3：該鍍膜儀體積較小，且配備有觸摸屏控制面板，操作方便。
產品參數:
項目 | 明細 | |
產品型號 | CY-MSH500- II-DCRF-SS | |
供電電壓 | AC220V，50Hz | |
整機功率 | 4KW | |
系統真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ140mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調轉速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ500mm，高度560mm |
腔體材質 | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
開啟方式 | 頂開式 | |
氣體控制 | 1路質量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM | |
真空系統 | 配分子泵系統1套，氣體抽速600L/S | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源500W,射頻電源500W | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制系統 | |
設備尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
設備重量 | 350kg | |
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