目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSH325G-II-DCDC-SS帶過渡艙型雙靶磁控濺射鍍膜儀
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
本設備為帶過渡艙型雙靶磁控濺射鍍膜儀，可用于金屬薄膜的制備，在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用，也可實驗室SEM樣品制備。
設備配有兩支磁控靶，兩套直流電源，可用于鍍多層導電金屬膜。同時設備具有主腔室和過渡艙兩部分，過渡艙配有磁力推桿，兩個艙室之間裝有真空閘板閥；用戶可以在主腔室進行濺射工作的同時，在過渡艙裝填樣品，并進行真空預抽，待主腔室濺射完成后即可將樣品通過磁力推桿推入主腔室的樣品臺。這樣的設計能夠減少主腔室抽放真空的次數，不僅能有效節省時間，更能保證更好的本地真空，有效提高鍍膜質量。
項目 | 明細 | |
產品型號 | CY-MSH325G-II-DCDC-SS | |
供電電壓 | AC220V，50Hz | |
整機功率 | 6.5KW | |
系統真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ150mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調轉速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ325mm，高度500mm |
腔體材質 | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
過渡腔體 | 150x150x150mm | |
開啟方式 | 頂開式 | |
氣體控制 | 1路質量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM | |
真空系統 | 配分子泵系統1套，氣體抽速600L/S | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 配直流電源500W*2 | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制系統 | |
設備尺寸 | 1200mm×1200mm×2000mm | |
設備重量 | 450kg | |
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