目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>等離子清洗機>> CY-PC13.56M-2L-150Q緊湊型等離子清洗機
緊湊型等離子清洗機主要特點：
1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級有機污染物，至多可容納2"。
2.涂層前預清洗單晶基板的優良工具，可獲得更好的薄膜質量。
3.鉸鏈式門，便于樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室，適用于清潔2"晶圓，可選配石英舟。
5.石英室內的可移動石英管易于清潔和更換。
緊湊型等離子清洗機技術參數：
主要部件 指標名稱 參數指標 清洗倉體 清洗倉材質 高純石英 清洗倉尺寸 直徑120mm;長度280mm 射頻電源 電源特性 該電源為全固態射頻電源，采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件，使產品的可靠性得以保證。 電源優勢 ● 可長時間正常運行 ● 電源效率高、發熱少 射頻功率 0~100W連續可調/0~150W連續可調 信號頻率 13.56MHz ±0.005% 反射功率 ≤200W 功率穩定度 ±0.1% 射頻接頭 N型頭 整機效率 ≥75% 諧波分量 ≤-50 dBc 冷卻方式 強制風冷 氣體測量 測量部件 浮子流量計 氣體通道 兩通道 A通道量程 10～100ml B通道量程 16～160ml 真空獲取 真空測量 數字真空計（電阻規） 真空抽取 雙極旋片泵 電機轉速 50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。 抽氣速率 50Hz時為：1.1L/s；60Hz時為：1.3L/s。 真空量程 1Pa～100000Pa 極限真空1 Pa 電機噪音 ≤56dB 管道接口 進氣口：KF16;排氣口KF16. 連接管道 KF16真空波紋管 真空閥門 電磁閥 電機功率 400W 其它 供電電源 AC220V 50/60Hz 整機功率 1000W/1500W 使用溫度 -10℃--40℃ 工作真空 ≤40Pa 整機尺寸 540mm×650mm×600mm 整機重量 78kg
● 操作簡單靈活
● 具有完善的反射功率保護功能
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