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實驗室紫外線臭氧清洗機是一款緊湊型紫外線臭氧清潔機，是一種專門用于去除基材樣品表面各種污染物的系統。紫外臭氧清洗機是一種簡單易用的干法工藝，是清潔表面的高效方法。清潔效果是通過用合適的燈照射基板表面引起的，在紫外光譜范圍內產生足夠的能量。它是霧化氧和高活性臭氧的光敏化氧化過程，直接到表面的UV輻射刺激反應，生產揮發性烴產物，通過氧化去除納米厚度的碳氫化合物導致具有顯著潤濕性的超潔凈表面。這在玻璃和陶瓷表面的薄膜涂覆工藝之前非常重要。
實驗室紫外線臭氧清洗機產品特點：
1.從基材樣品表面去除各種污染物
2.使用干法工藝以高效方法清潔表面
3.在254nm至185nm之間的波線上產生能量
4.有氧氣入口，臭氧去除泵，液晶顯示單元
5.樣品溫度測量功能
6.用于指示清潔完成的蜂鳴器
7. 用于鎖定進樣托盤的鎖定功能，以避免在操作過程中打開
實驗室紫外線臭氧清洗機技術參數：
| 輸入功率 | AC 220V±10%, 50/60Hz |
| 紫外燈 | ? 紫外燈功率: 120W Max. ? 波長: 254 nm and 185 nm ? zui大基材尺寸: 150×150 mm ( 6"×6") |
| 腔室和樣品臺 | ? 托盤尺寸: 176mm×168mm ? 樣品輸送:滑動 |
| LCD顯示器 | ? 持續時間: 1 - 99 sec / min / hr ? 樣品溫度測量功能 |
| 合規 | CE認證 |
| 保證 | 一年有限保修，終身支持（耐熱玻璃室無保修） |
| 應用 | ? 消除SPT，AFM**和表面的分子污染 ? 固化UV-粘合劑 ? SAM表面的紫外光圖案化 ? 氧化PDMS ? 蝕刻、圖案、銳化 ? 清潔MEMS器件 ? 清潔襯底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶體襯底 |
| 易損零部件 | 更換燈 |
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