樣品尺寸  

zui大直徑 8" (~200mm)  

腔體材質  

不銹鋼  

上蓋（特殊要求）  

數量：2個（其中1個備用，只是蓋子，不含其它）石英材質, 便于觀察旋涂狀態

轉速  

0~8000rpm 可調  

加速度  

100~5000rpm/s  

速度分辨率  

1rpm  

操作模式  

觸屏控制  

注射泵裝置  

6通道獨立控制注射泵，但注射泵的控制軟件和勻膠機兼容  

適用注射器規格：1ml   - 60ml  

zui大行程：90mm  

線速度范圍：7.94um/min-79.4mm/min  

行程控制精度：誤差≤±0.5%（行程≥zui大行程的30%）  

額定線性推力：>90N  

滴液裝置（特殊要求）  

l  自動和可編程滴液  

l  六個獨立注射器和滴液孔，無交叉污染  

l  注射器的容量： 5ml到更高  

l  其中2 條分配線需要jingque控制：可重復的分配量，每次zui小分配量：50ul±5ul，這兩條線是用于甲苯溶液。 其他4條線的jingque控制要求稍低，zui小分配量：500ul±50ul，用于辛烷或乙腈溶液  

l  管子和注射器需要對溶劑甲苯、辛烷、乙腈具有很強的耐受性  

l  管子和注射器之間的所有連接都要連接良好，不能泄漏  

控制軟件（特殊要求）  

程序和存儲配方由步驟組成。 每個步驟至少具有以下可配置參數：時間、旋轉速度、斜率、6條分配線中的每條的分配量和6條分配線中的每條的分配速度。  

配方允許循環步驟的子集..  

控制軟件配方的典型示例：  

步驟1：注液泵 1 分配 50ul 溶劑  

步驟2：立刻，旋涂機開始以 3000   rpm 旋轉 30 秒并停止  

步驟3：注液泵 2 分配 200ul 溶劑  

步驟4：30 秒后，旋涂機開始以 3000   rpm 的速度旋轉  

步驟5：10 秒后，注液泵 3 分配 1ml 溶劑  

步驟6：40秒后，旋涂機停止  

步驟7：重復10 次 步驟 1 至 6  

吸盤  

4片 (鋁合金，直徑 10mm, 25mm, 55mm 和 150mm)  

真空泵  

無油泵  

泵抽速  

50 L/min  

勻膠機尺寸  

~290mm*365mm*300mm  

勻膠機凈重  

~20kg