目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSH325- II-DCRF-SS雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀
產地類別 | 國產 | 價格區間 | 30萬-50萬 |
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應用領域 | 生物產業,電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,制藥/生物制藥 |
雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀緊湊型磁控濺射系統,具有雙靶2"目標源,例如,一個直流源用于涂覆金屬薄膜,另一個射頻源用于涂覆非金屬材料。高真空磁控等離子濺射鍍膜儀設計用于涂覆單層或多層薄膜,適用于各種材料,如合金、鐵電、半導體、陶瓷、電介質、光學、聚四氟乙烯等。
雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀主要特點:
1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應用廣泛。
3、體積小,操作簡便。
磁控鍍膜儀的典型實用案例,涵蓋科研、工業及教學領域,體現其多功能性和廣泛應用價值:
1. 科研領域——納米光學薄膜制備
2. 電子行業——透明導電薄膜(ITO)鍍膜
3. 材料改性——刀具硬質涂層(TiN)
4. 教學演示——磁控濺射原理實驗
高真空磁控等離子濺射鍍膜儀技術規格:
項目 | 明細 | |
產品型號 | CY-MSH325- II-DCRF-SS | |
供電電壓 | AC220V,50Hz | |
整機功率 | 4KW | |
系統真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ140mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調轉速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ325mm,高度500mm |
腔體材質 | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
開啟方式 | 頂開式 | |
氣體控制 | 1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM | |
真空系統 | 配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源500W,射頻電源500W | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制系統 | |
設備尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
設備重量 | 350kg |
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