目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSZ180-60Q-I-DC-Q傾斜樣品臺(tái)式單靶磁控鍍膜儀
| 參考價(jià) | ￥ 50000 |
| 訂貨量 | ≥1臺(tái) |
| ￥50000 |
| ≥1臺(tái) |
更新時(shí)間：2025-08-04 13:58:52瀏覽次數(shù)：331評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
本設(shè)備為傾斜樣品臺(tái)式單靶磁控鍍膜儀，樣品臺(tái)與靶面的角度可調(diào)，可用于制作特定生長(zhǎng)角度的薄膜。設(shè)備外形為桌面級(jí)別，大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源，可用于金屬及其他導(dǎo)電材料的濺射。設(shè)備真空系統(tǒng)采用渦輪分子泵組，抽氣速度快，極限真空度高，真空性能優(yōu)異。本設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用，非常適合用于各類(lèi)鍍膜試驗(yàn)。
產(chǎn)品名稱(chēng) | 傾斜樣品臺(tái)式單靶磁控鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-MSZ180-60Q-I-DC-Q | |
樣品臺(tái) | 外形尺寸 | φ60mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
可調(diào)轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 配一支兩英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X215mm |
觀察窗口 | 全向透明 | |
腔體材料 | 高純石英 | |
開(kāi)啟方式 | 上蓋拆卸式 | |
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 低噪音雙極旋片泵 |
分子泵 | 低噪音大抽速渦輪分子泵 | |
真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì)，量程:10-5~105Pa | |
抽氣接口 | KF16 | |
抽氣接口 | KF40 | |
排氣接口 | KF16 | |
系統(tǒng)真空 | 1.0×10-4Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 分子泵抽速600L/s，前級(jí)泵抽速1.1L/s | |
電源配置 | 電源數(shù)量 | 直流電源一套 |
輸出功率 | 500W | |
其他參數(shù) | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機(jī)功率 | 2kW | |
整機(jī)尺寸 | 550mm X 350mm X400mm | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
1
化工儀器網(wǎng)