目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>勻膠機旋涂儀>> CY-SPC4-SS-JH凈化型勻膠機
凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時，可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨立工作，也可兩臺同時工作。
凈化型勻膠機設備特點：
1、帶有100級空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵，防止
勻膠過程中的雜質污染。
2、 設置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。
3、可設置時間--轉速曲線，程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏，操作簡單易學無需專業學習
勻膠機主要技術參數：
勻膠時間 | 1-99秒 |
勻膠轉數 | 0-8000轉/分 |
操作區風速 | 0.3-0.5米/秒(有效操作區氣流狀態：垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 |
凈化效果 | 100級（美國聯邦標準） |
外形尺寸 | 650x750x1620mm |
外體顏色 | 亞白色 |
控制范圍和精度 | 轉速控制范圍為：500-8000轉，精度為±3% |
時間控制范圍為 | 1-99秒，精度為±5% |
轉速調整 | 采用PID調節，精度高 |
轉速查看智能化 | 可自動識別哪個電機開或關，自動轉換到開啟的電機上。可予先選定，也可在運行中隨時查看任一電機的轉速 |
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