小型勻膠機旋涂儀英文叫Spin Coater或Spin Processor，又稱為甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。它可以把滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上。臺式勻膠機適用于半導體硅片、載玻片、晶片、基片、ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆。具有轉速穩定、啟動迅速等優點，并能保證涂膠厚度的一致性和均勻性。本設備通常搭配無油真空泵一起使用。

小型勻膠機旋涂儀產品特點：  

1：采用75W直流無刷電機，單片機控制  

2：高清晰文本顯示器  

3：可單步和多步勻膠操作  

4：仿堵膠設計  

5：PP耐腐蝕內腔，可更換  

6：PC透明蓋  

7：多角度定位鉸鏈設計  

8：HDPE真空吸盤

不同行業的勻膠機應用案例：

1. 半導體制造案例

應用場景：光刻膠勻膠涂覆

客戶需求：某半導體廠商需要高精度勻膠機，確保光刻膠在硅片上的厚度均勻性（±1%偏差）。

解決方案：

采用真空吸附勻膠機，避免硅片位移。

轉速范圍 500-8000 RPM，適配不同膠體粘度。

程序控制加速/減速曲線，減少邊緣效應。

2. 科研實驗室案例

應用場景：納米材料薄膜制備（如鈣鈦礦太陽能電池）

客戶需求：某高校實驗室需要小尺寸、多參數可控的旋涂儀，用于材料研究。

解決方案：

臺式勻膠機，適配 2英寸×2英寸 基底。

轉速 200-10000 RPM，支持程序化分段旋涂。

配備 氮氣吹掃 功能，避免氧化影響。

3. LED行業案例

應用場景：LED芯片熒光膠涂覆

客戶需求：某LED廠商需解決熒光膠涂層厚度不均導致的色差問題。

解決方案：

定制多工位勻膠機，支持 自動滴膠+旋涂。

轉速穩定性 ±1 RPM，確保批次一致性。

配備 加熱托盤（50-120℃），加速膠體固化。

4. 光伏行業案例

應用場景：太陽能電池抗反射膜涂覆

客戶需求：某光伏企業需在硅片表面涂覆 SiO?溶膠，減少光反射損失。

解決方案：

采用 大尺寸勻膠機（兼容 156mm×156mm 硅片）。

低轉速模式（300-1000 RPM），避免溶膠飛濺。

模塊化設計，支持快速清潔換料。

技術參數  ：

1：速度可調：100~9999rpm  

2：加速度可調：100~9999rpm/s  

3：轉速分辨率：1rpm  

4：單步時間：3000s  

5：單步和多步運行可選，可編程5組5步程序  

6：寬電壓輸入：AC100~230V  

7：操作界面中英文可選