目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSZ180-I-DC-Q小型臺式單靶磁控濺射鍍膜儀
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
本設備為桌面型石英腔體單靶磁控濺射鍍膜儀，可用于金屬薄膜的制備，在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用，也可實驗室SEM樣品制備。
本套配置采用石英真空腔體，鍍膜過程全向可視，便于實驗的觀察記錄，腔體設計開啟方便，易于清理，十分適合實驗室使用。同時設備配有旋轉加熱樣品臺，可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質量。整機采用模塊化設計，操作邏輯簡單，操作界面直觀，利于上手
技術參數：
| 產品名稱 | 小型臺式單靶磁控濺射鍍膜儀 | |
| 產品型號 | CY-MSZ180-I-DC-Q | |
| 樣品臺 | 外形尺寸 | φ100mm |
| 震動頻率 | 20Hz-20000Hz | |
| 磁控靶槍 | 配一支兩英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50mm，厚度≦3mm | |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X 200mm |
| 觀察窗口 | 全向透明 | |
| 腔體材料 | 高純石英 | |
| 開啟方式 | 上蓋拆卸式 | |
| 真空系統 | 前級泵 | 低噪音雙極旋片泵 |
| 分子泵 | 低噪音大抽速渦輪分子泵 | |
| 真空測量 | 復合真空計，量程:10-5~105Pa | |
| 抽氣接口 | KF40 | |
| 排氣接口 | KF16 | |
| 系統真空 | 1.0×10-4Pa | |
| 供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
| 抽氣速率 | 分子泵抽速600L/s，前級泵抽速1.1L/s | |
| 電源配置 | 電源數量 | 直流電源一套 |
| 輸出功率 | 300W | |
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其他參數 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
| 整機功率 | 2kW | |
| 整機尺寸 | 550mm X 350mm X1200mm | |
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