目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>勻膠機旋涂儀>> CY-SPC12T-SS-UL全自動超聲波氣氛加熱勻膠機
超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件，可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內，在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機適用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆。可勻膠zui大圓晶尺寸為12英寸，轉速可達3000rpm，加速度可達2000rpm；具有轉速穩定，啟動迅速，操作方便等優點，并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性，是一款性能優良的產品.
1. 采用直流無刷電機，單片機控制
2. 高清晰觸摸屏控制
3. 可進行單步多步勻膠操作，可存儲五種程序，每種程序可設置五步操作
4. 防堵膠設計
5. 鋁合金腔體，堅固耐用
6. 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進行多種輔助
產品名稱 超聲波輔助氣氛勻膠機 產品型號 CY-SPC12T-SS-UL 勻膠機 圓晶尺寸 12英寸 旋轉速度 30~3000rpm可調 旋轉加速度 30~2000rpm/s可調 單次*長勻膠時間 3000s 勻膠腔體尺寸 φ390mm*90mm 電壓 220V 50Hz 功率 1.5KW 加熱溫度 0-100℃ 質保時間 易損件除外，1年，終身技術支持 勻膠機真空吸盤 12寸 一個（標配）；6寸 一個（定制） 勻膠機定制純機械卡盤 12英寸 一個（額外定制）；6英寸 一個（額外定制） 無油真空泵 型號：AP-2000V 功率：0.55kw *低真空度：-700mmHg；-92Kpa *大空氣流量：200L/min；12M3/h 重量：10kg 超聲波系統 霧化頭材質 鈦合金 頻率 50kHz 功率 30W 流量 0.55mL/s 微粒直徑 25um 霧化頭類型 錐型 霧化頭重量 0.3kg 超聲波電源尺寸 315*312*135mm 超聲波電源重量 5kg 注射泵 流量范圍 0.001uL/min-43.349mL/min 掉電記憶工能 保存設置參數，重新上電后，無需設置 適用進樣器規格 10uL-1000uL 適用注射器規格 1mL-60mL 加熱溫度 0-100℃ 線速度范圍 5um/min-65um/min 線速度調節分辨率 5um/min *大行程 140mm 行程分辨率 0.156um 額定線性推力 ＞90N 流量計 控制氣體種類 2種 氣體流速 16-160mL/min
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