目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSH325G-III-DCDCRF-SS帶過渡艙三靶磁控濺射鍍膜儀
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,電氣 | 真空腔體 | 直徑≦100mm的平面樣品均可 |
| 樣品臺尺寸 | 直徑≦100mm的平面樣品均可 | 磁控靶 | 普通永磁靶，可調角度 |
| 靶材尺寸 | 直徑2英寸，厚度≦3mm, | 濺射功率 | 500W |
| 項目 | 明細 | |
| 產品型號 | CY-MSH325G-III-DCDCRF-SS | |
| 供電電源 | VAC 110, 60Hz | |
| 樣品臺 | 位置 | 下部，帶擋板 |
| 直徑尺寸 | φ150mm | |
| 可調轉速 | 0-20rpm 可調 | |
| 加熱溫度 | RT~500oC | |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | φ325xH510mm |
| 腔體材料 | 304 不銹鋼 | |
| 內壁處理 | 電解拋光 | |
| 密封方式 | 氟橡膠密封 | |
| 觀察窗口 | φ100mm（帶擋板） | |
| 磁控靶槍 | 數量 | 3 |
| 擺頭角度 | 可調角度 -45~45 度 | |
| 濺射方向 | 向下濺射 | |
| 靶材平面 | 圓形平面靶 | |
| 靶材直徑 | 2英寸 | |
| 靶材厚度 | *厚3mm | |
| 直流電源 | 數量 | 2臺 |
| 電源功率 | 0~500W | |
| 輸出電壓 | 0～600V | |
| *大輸出電流 | 1A | |
| 啟動時間 | 1~10S | |
| 射頻電源 | 數量 | 1臺 |
| 電源功率 | 0~500W | |
| 射頻頻率 | 13.56MHz | |
| 匹配方式 | 自動匹配 | |
| 反射功率 | ≦100W | |
| 功率穩定性 | ±0.1% | |
| 膜厚監測儀 | 通道數 | 單通道 |
| 測量精度 | 0.1 ? | |
| 測量速度 | 100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁） | |
| 標準傳感器晶體 | 6MHz | |
| 適用晶片尺寸 | Φ14mm | |
| 真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵，抽速1.1L/s |
| 渦輪分子泵 | 抽速600L/s 額定轉速：27000rpm 啟動時間：≦5min 冷卻方式：水冷 | |
| 真空度 | 5x10-4Pa | |
| 真空測量 | 復合真空計，測量范圍10-5Pa ~ 105 Pa | |
| 過渡倉 | 腔體尺寸要適用于*大4英寸的晶圓 配備分子泵組： 前級泵：VRD-4，抽速1.1L/s 分子泵：日本TG60F，抽速60L/s | |
| 水冷機 | 冷卻水流速 | 10L/min |
| 整機功率 | 0.1KW | |
| 冷卻功率 | 50W/℃ | |
| 水箱容量 | 9L | |
| 氣體控制 | 1路質量流量計：Ar氣，范圍0-200sccm | |
| 控制系統 | CYKY自研專業級控制系統 | |
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