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KAMAKIRI W
主要特點：
應用領域：
技術參數:
項次 | 項目 | 具體參數 |
1 | 輸出項目 | 相位差【nm】，軸方向【°】 |
2 | 測量波長 | 520nm |
3 | 雙折射測量范圍 | 0-130nm/0-260nm(選配) |
4 | 主軸方位范圍 | 0-180° |
5 | 測量重復精度 | <1nm（西格瑪） |
6 | 測量寬度尺寸 | 350mm |
7 | 寬度方向測量點 | 2560 |
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