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薄膜應力測量儀
Based on classic Stoney formula principle, advanced control technologyand smart operationmake the FST1000 film stress tester particularly suit-able for measurement in fast characterization of film residual stress.
基于經典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用良好控制技術和傻瓜化的操作，使得FST1000薄膜應量儀特別適合于要求快速測量常規薄膜殘余應力。薄膜應力測量儀源自中科院金屬研究所和深圳職業技術學院相關研究成果轉化！號：CN204854624U；CN203688116U；CN100465615C
薄膜應力測量儀產品規格：
| 技術規格 | 參數 |
| 基本原理 | 曲率法Stoney公式 |
| 薄膜應力測試范圍 | 5 MPa～50GPa |
| 曲率半徑測試范圍 | 0.3～ 20 m |
| 薄膜應力計算誤差 | ＜±2% |
| 曲率半徑測試誤差 | ＜±1% |
| 測試平臺行程 | X方向：100 mm / Y方向：50 mm |
| 樣品尺寸 | 長方形樣品 |
| 樣品定位 | 自動定位原點 |
| 樣品校正 | 可計算校正原始表面不平直影響（對減模式） |
| 主要功能 | 自動測量采集計算曲率半徑和薄膜應力 |
| 電源電壓 | 220 VAC電源適配器 |
| 電源功耗 | 280 Watts Maximum |
| 通訊連接端口 | USB 2.0 |
| 工作溫度 | 0～50 ºC |
| 操作軟件 | 視窗界面/適用于Windows XP/Windows 7系統 |
| 操作電腦 | 用戶自備或選配 |
| 外形尺寸 | 50×39×34cm |
| 重量 | ～ 40K g |
| 質量保證 | 一 一年免費/終身維護 |
| 備注 | 以上所列技術規格與參數更新恕不另行通知，如有疑問請 |
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