膜片閥的優點是密封性好，可靠，死區小，其死區體積不到相同口徑波紋管閥的一半。易于排除痕量殘留氣體；閥頭與閥座間無相對摩擦，不會有金屬粒子落入介質中。可以同時滿足高壓、真空、高低溫的綜合性能。

膜片式截止閥工作壓力可達21MPa，適用溫度-54～316℃，漏氣速率1.33×10-7Pa·L/s。
可供高純氣體系統用。

011420R SET5-2030-02-00,00000-C-C00-011420R

011426B SET5-2030-02-00,00000-C-D00-011426B
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