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合肥智測電子有限公司>>技術(shù)文章>>TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓硅片測溫?zé)犭娕?/a>

TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓硅片測溫?zé)犭娕?/h3>
閱讀:490        發(fā)布時間:2023-9-9

TC WAFER晶圓測溫系統(tǒng) 晶圓硅片測溫?zé)犭娕?/span>

TC wafer是什么?

      TC為熱電偶的簡稱, TC-Wafer是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面,對晶圓表面的溫度進(jìn)行實(shí)時測量。通過晶圓的測溫點(diǎn)了解特定位置晶圓的真實(shí)溫度,以及晶圓整體的溫度分布,同還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化,獲得升溫、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數(shù)據(jù),從而了解半導(dǎo)體設(shè)備的溫度均勻度。





智測電子生產(chǎn)研發(fā)的Wafer-TC晶圓熱電偶溫度傳感器,其溫度范圍廣泛,智測電子的產(chǎn)品設(shè)計考慮到了用戶的實(shí)際需求,傳感器引線可定制,且采用了硅基膠粘劑和焊接技術(shù),使其具有更好的性能和可靠性。 總之,智測電子的高精度溫度傳感器不僅在技術(shù)上具備優(yōu)勢,而且在服務(wù)方面也能夠?yàn)橛脩籼峁I(yè)的解決方案。

TC-Wafer晶圓溫度測量系統(tǒng)應(yīng)用于許多行業(yè),包括快速熱處理 (RTP)、快速熱退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化學(xué)氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD)、ION 等應(yīng)用注入、太陽能電池和許多其他熱驅(qū)動工藝。智測電子具有高精度溫度測量與控制技術(shù)和經(jīng)驗(yàn),支持產(chǎn)品定制。

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