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北京華丞電子有限公司

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氣體質量流量控制器用途參數

閱讀:3903      發布時間:2018-3-26
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 D07-9E氣體質量流量控制器用途: 

質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
D07-9E氣體質量流量控制器技術參數:

產品型號

D07-9E

產品類型

普通型

流量量程

20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm

產品精度

±2%F.S.

重復精度

±0.2% FS

線性

±1%F.S.

響應時間

≤4sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

耐壓

3MPa

密封材料

氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene

輸入輸出信號

(0~5)VDC

電源

±15V

閥類型

常閉

溫度系數

- 無 -

零點飄移指標

- 無 -

電氣連接

D sub 15 pins Male

工作壓差范圍

(0.05~0.30) MPa(20slm ≤F.S.≤30slm),(0.10~0.30) MPa(50slm m≤F.S.≤150slm),(0.15~0.30) MPa(200slm ≤F.S.≤250slm)

漏率

1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He)

標準接頭形式

VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10

表面化學成分

- 無 -

表面粗糙度

- 無 -

抗電磁干擾

- 無 -

重量

2.6Kg

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