韓國LS|M100半導體單片清洗設備專用流量計
◎高純度藥液和超純水等液體的高速精密流量控制。
◎ 運用在半導體及其它領域的高品質，高精密度非接觸流量計。
◎ 可以對多種液體進行流量控制(DI, 硝酸, 硫酸, 雙氧水, 氨水等)
◎ 采用電源分離的設計，屏蔽了外部電源的干擾和輸入輸出時產生的 RFI/EMI
◎ 使用RS-485通信對多臺LFC進行控制和監控
◎ 專用PC程序提供
◎ 內置外部輸出功能
◎ AMP(2頻道) 一體化結構使使用空間最小化
韓國LS|M100半導體單片清洗設備專用流量計
首先我們對于您給予 MERIT100這個產品以極大的信任表示感謝.
MERIT100在潔凈室的環境中進行生產并經歷嚴格的品質管理在出貨前經歷多項檢測因此造就了優秀的性能的品質。
該機器是為了快速、精密地測定管道內流動液體的流量而設計制作的,同時外觀的設計兼顧耐用和美觀的優點。
MERIT200是一款具備豐富功能及多種外部接口功能的產品，為了用
◎ 可以告訴精密的對目標流量進行測定
◎ 對液體和溫度的不同進行補償
◎ 對總流量值進行累計計算
◎ 過濾流量的微震
◎ 搭載超聲波波形鏡像功能對流量進行精密測量
◎ 通過串口通信提供多元的控制及多種應用技術
◎ 通過 RS-485(Modbus)通信對多數流量進行監控。
◎ 高速測定的應答性(初期 Target Flow Rate 98%, 2Sec 以內)
韓國LS|M100半導體單片清洗設備專用流量計
◎ 半導體 及 Display 清洗裝備 : 流入的清潔液流量精密檢測用
◎ 特殊化學用: 多樣的液體(DI, 硝酸, 硫酸, 雙氧水, 氨水等)的精密流量監控
韓國LS|M100半導體單片清洗設備專用流量計
流量部規格
區分 | 樣式 |
測量對象 | 全部液體 |
流體溫度 | 10~90℃ |
流體壓力 | 0~0.35Mpa（極限值0.5Mpa） |
聲波范圍 | 1000~2200m/Sec |
防水結構 | IP65 |
材質 | PFA |
標準管徑 | 1/4inch，3/8inch，1/2inch，3/4inch |
線纜長度 | （樣式）：2M，3M，5M |
韓國LS|M100半導體單片清洗設備專用流量計
流量范圍和精度
區分 | A20（1/4"） | A50（3/8"） | A200（1/2"） | A500（3/4"） | 備注 |
藥液 | Chemical, slurry, DIW | ||||
流量范圍 | 0.02~2.5 | 0.1~5.0 | 0.5~20 | 1~50 | L/min |
最小Unit | 1 mL/min | 10mL/min | |||
管徑 | 6.35(3.96) | 9.52(6.35) | 12.7(9.53) | 19(15.87) | 外徑（內徑）mm |
精度 | 0.05~0.3(±3) | 0.1~0.6(±6) | 0.5~2.0(±20) | 1.0~5.0(±50) | L/min（mL/min） |
0.3~2.5 (±1%) | 0.6~5.0(±1%) | 2.0~20(±1%) | 5.0~50(±1%) | of RD |
韓國LS|M100半導體單片清洗設備專用流量計
競品比較(Standard : inch type)
類別 | 韓國LS M100-xxxx | 日本TOFCO USFXXX | SFC-XXX 日本TKK | 備注 |
英寸 | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | |
尺寸 | 119.6 x 20.8 x 152.6 mm | 138 x 40 x 105 mm | 134 x 20 x 100 mm | 設置尺寸較小， 安裝尺寸最小化 |
材料/防水 | PFA / IP65 (Detector) | PFA | PFA | |
電源 | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | |
精度 | 20mL~300mL : ±3mL 300mL~2500mL : ±1% | 50mL~300mL : ±3mL 300mL~3000mL : ±1% | 50mL~800mL : ±8mL 800mL~2000mL: ±1% | 小流量更為精準 |
流體溫度 | 10 ~ 90℃ （Option ~150℃） | 10 ~ 90℃ (Option ~180℃) | 10~ 180℃ | 可以在高溫使用 |
響應時間 | 1.5 sec | - | - | 反應速度快 |
可測范圍(DIW) | 20 ~ 2500mL/min | 50 ~ 3000mL/min | 50~ 2500mL/min | ***流量值最小 |
模擬輸出 | 4-20 mA | 4-20 mA | 4-20 mA | |
操作模式 | Analog output mode RS-485 Isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | 絕緣類型適用 (5 kV rms isolated) |
頻道數 | 2/6Channel | 2Channel | 1Channel |
韓國LS|M100半導體單片清洗設備專用流量計
MERIT200報警現象可能是有管道設置，流量液體或者機械問題所導致的。正確的把握問題的狀況才能做出正確的應對措施，一下是一些常見的報價原因如發生報警請參考下表。
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