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合肥辰越自動化工程有限公司

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韓國Ls高速Spinner中空伺服電機半導體設備清洗涂膠應用

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LS特種電機在半導體行業應用

隨著國內的半導體行業的發展,制程設備關鍵零部件韓國LS特研制出Spinner 空心軸高速伺服電機有著20多年行業應用。服務于半導體晶圓電鍍,涂膠、顯影、清洗固晶、蝕刻、晶圓鍵合、封測等設備中該電機具備高加速度,速度范圍寬,高響應性等特點,在業內廣受客戶評。

 

APM-HB01ACH    APM-HB03HBH-GY   APM-HB03HBH-CD  APM-HB03HBH-CD1

APM-HB02ACH   APM-HC07HCH-200  APM-HC06HCH        APM-HB04AAH-DT

APM-HB04ACH    APM-HE09ACH          APM-HE15ACH        APM-HE30ACH



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