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旋轉涂膜機適用于哪些材料的鍍膜工藝?

時間:2023/1/12閱讀:1227
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  旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、CD、制版等表面鍍膜工藝,可用于強酸和強堿涂膜溶液的涂膜制備。該機可以對鍍膜機的腔體抽真空,使樣品在真空的狀態下進行鍍膜,適合使用在空氣中容易氧化變質的薄膜材料。鍍膜機工作時,樣品通過真空托盤吸附固定在樣品裝載托盤上。該設備可存儲12組程序,每組程序包含6個運行階段。設備在不同運行階段的不同轉數,使設備緩慢提高到極限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,不會浪費太多,從而節省材料,具有操作簡單、清洗方便、體積小等優點,主要用于各大學和研究所的實驗室生成薄膜。
 
  

旋轉涂膜機

 

  1、旋轉涂膜機共有12組程序,每組包括6個運行階段。每級升降速率的設定范圍為100-2000rpm/s,每級時間范圍為0-60s。
  
  2、樣品可以通過真空吸附或粘接或夾緊來固定,操作簡單。
  
  3、吸盤的真空度可以達到-0.08MPa。
  
  4、使用定位工具,樣品可以很容易地放置在中心位置,以減少偏心引起的振動或飛片。
  
  5、可根據樣品規格使用不同的吸盤,更換方便簡單。
  
  6、電機采用DC無刷電機,無級調速,可靠性高,適應性強,維修保養簡單,噪音低,振動小,運轉平穩,啟動快速平穩,加速后運轉平穩,能保證涂層厚度的一致性和均勻性。
  
  7、真空吸附固定樣品時,采用無油平行桿真空泵,具有體積小、結構簡單、操作簡單、維修方便、無環境污染等優點。
  
  8、涂覆可以在惰性氣體氣氛中進行。
  
  9、涂覆可以在真空狀態下進行。此時,需要通過粘合基板或夾緊基板來固定涂覆的基板。
  
  10、旋轉涂膜機腔體整體由聚丙烯制成,使用壽命更長,耐化學腐蝕性能提高,抗應力開裂性能優異。
  
  11、具有開蓋保護功能。當涂層過程中或涂層結束時打開蓋子時,機器將快速減速直至停止。
  
  12、控制器采用控制箱,液晶顯示數值,更加直觀可靠。
  

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