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上海申思特自動化設備有限公司
主營產品： 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風,丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
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更新時間：2016-12-16 16:48:11瀏覽次數：696
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數字式E+E壓力傳感器研究
機械式壓力開關和有源壓力敏感元件復合組成的E+E壓力傳感器，在高沖擊10000g，寬溫度范圍-40℃～100℃條件下，實現量程范圍0～1MPa的高精度測量，具有模擬線性輸出、TTL電平輸出、數字輸出和數據通信功能的復合E+E壓力傳感器。
數字式E+E壓力傳感器研究
利用波紋管和微動開關組成的機械式壓力開關傳感器對有源E+E壓力傳感器延時啟動，避免高過載下對加電工作的有源E+E壓力傳感器及其它電子元器件的物理性損壞。通過對有源壓力敏感元件的基片材料單晶硅、多晶硅、SOI、藍寶石材料進行比較，選定SOI(Silicon on Insluator)材料為基片材料，該種材料硅微加工特性好且傳感器在寬溫區的范圍內零點漂移小、溫度靈敏度漂移小。利用有限元軟件對敏感元件的形狀C型、E型、雙島型杯體表面應力分布進行了模擬分析，其中著重對雙島型敏感元件進行分析。壓阻型擴散硅E+E壓力傳感器在測試壓力時,容易受到環境溫度的影響。為了消除溫度所帶來的影響,需要對E+E壓力傳感器進行溫度補償。神經網絡技術中的BP神經網絡算法可以在壓力試驗中對E+E壓力傳感器進行溫度補償。此方法將E+E壓力傳感器和溫度傳感器所采集到的電壓信號進行數據融合,削弱了溫度對E+E壓力傳感器所產生的干擾,補償后比補償前得到E+E壓力傳感器靈敏度溫度系數和滿量程時相對誤差都分別提高了2個數量級。結合SOI材料的特性利用等離子干法刻蝕電阻圖形，并采用TMAH(Tetramethyl Ammonium Hydroxide)各向異性腐蝕技術制作硅杯，zui終制造出壓力敏感元件。有源壓力敏感元件采用恒流源供電,通過檢測電路對敏感元件輸出信號進行調理，調制成標準電壓信號。將標準電壓信號經AD變化后送入微處理中，經過數據融合技術處理后，再經DA變換和接口芯片轉換，信號以0.5～4.5V的電壓、五路TTL電平形式輸出、和RS232串口形式通信。
數字式E+E壓力傳感器研究
經壓力測試儀和高低溫環境試驗箱組成的測試系統測量后,得出該傳感器綜合精度達到0.1%FS，傳感器的閾值和輸出信號可以通過上位機軟件進行設定，數據通信穩定無誤碼、死機現象。
